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我們的技術團隊是國內唯一完成過ArF, KrF, I Line, G Line全部工程案例的團隊,擁有ASML和NIKON光刻機的翻新改造、安裝調試及維護的核心技術能力。
針對12英寸及以下的不同尺寸(包括硅、碳化硅、氮化鎵、藍寶石等)、不同掩模版尺寸的要求,可實現自主設計、 加工制造、集成調整的改造能力。
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