日立CD-SEM二手現貨掃描電鏡S-9220適用于8英寸晶圓的監測，CD檢測范圍0.1~2.0μm，最大吞吐量45wph，放大倍數1000~300,000。
設備尺寸和參數：
主機尺寸: 1200(W)*1930(D)*1850(H) mm, 1850kg
顯示單元: 600(W)*1360(D)*1850(H) mm, 320kg
電源：535(W)*870(D)*1800(H) mm, 300kg
冷卻水循環器：407(W)*484(D)*880(H) mm, 55kg
翻新要求：
大修主柱
按要求檢修主柱，包括清洗拋光槍室和陽極極片，更換聚光鏡孔徑，清洗聚光鏡極片，清洗物鏡極片，更換O型圈。
更換新槍燈絲和透鏡光圈。
驗證高壓電源的工作情況。
修復二次電子探測器。
烘烤主柱并抽真空，以驗證其符合OEM規范。
檢查晶圓處理器和X/Y級的操作。
潤滑所有運動部件。
檢查所有測量功能并重新校準。
