特征尺寸測量用掃描電子顯微鏡CD-SEM S-8840，適用于6英寸和8英寸晶圓的線寬測試。
設備配置
晶片尺寸：6、8 英寸（直徑：150mm 200mm）
晶片厚度：0.4mm~1mm 兼容
硅片單元尺寸：0.2~2inch
卡匣：25 片/批次
電子槍 Electron Gun
真空腔室 Vacuum Chember
真空泵 Vacuum Pump
透鏡系統 Lens System
X-Y 工作臺（X-Y Workplate)
承片臺 8 寸 (Pick-up platform 8 inches )
硅片傳輸系統 8 寸 ( wafer transmission system 8 inches)
硅片自動對準系統 （wafer Auto alignment system）
操作界面, 主控過程人機操作界面 ( Operating Interface, Man-machine Operating Interface of Main Control Process )
計算機系統,整機主控計算機和系統控制應用程序(Computer System, Main Control Computer and System Control Application Program )
監視器, 圖形和控制界面顯示( Monitor, Graphics and Control Interface Display)
設備性能
圖像分辨率：5nm2
CD 量測范圍：0.1 ~ 10um
CD 重復性： 3σ≤5 nm or ≤±1 %
倍率： x 1000 ~ 150000 (SEM 圖像)； x 110 （光學顯微鏡圖像)
焦深：≥1.0mm at 80000xmagnification
高縱橫比接觸孔圖像≥12
